WebCPC CPC COOPERATIVE PATENT CLASSIFICATION
G01Q 走査式探測機技術または装置、走査式探測機技術のアプリケーション、例えば調査顕微鏡検査[SPM]を走査すること
NOTE - このサブクラスにおいて、第1の場所優先権支配は、適用される、すなわち各々の階層的なレベルで、格づけは、第1の適当な場所において、なされる。G01Q 10/00 スキャンであるか位置決め配置、すなわち運動を能動的に制御するための準備または調査の位置
G01Q 10/02 ・粗いスキャンまたは位置決め
G01Q 10/04 ・微細なスキャンまたは位置決め
G01Q 10/045 ・・{調査をSelf-actuatingして、すなわちそこにおいて、運転するための作動手段は、調査の一部である、例えば片持ち調査上の圧電手段}
G01Q 10/06 ・・回路またはアルゴリズムしたがって
G01Q 10/065 ・・・{フィードバック・メカニズム、すなわちそこにおいて、探測機を駆動することへの動機は、調査から生まれている信号により修正される}
G01Q 20/00 運動または調査の位置をモニタすること
G01Q 20/02 ・光学手段によって
G01Q 20/04 ・調査を自己検出して、すなわちそこにおいて、調査はその位置の信号典型を生成する、例えば圧電ゲージ
G01Q 30/00 スキャン調査技術または装置を援助するかまたは改善するのに役立っている補助手段、例えば表示またはデータ処理装置
G01Q 30/02 ・装置を分析している非SPM、例えばSEM [走査型電子顕微鏡]、スペクトロメータまたは光学顕微鏡
G01Q 30/025 ・・{SPMに連結する光学顕微鏡}
G01Q 30/04 ・表示またはデータ処理装置
G01Q 30/06 ・・エラー補償のための
G01Q 30/08 ・サンプル室の範囲内で決めるかまたは所望の環境条件を調整するための手段
G01Q 30/10 ・・熱環境
G01Q 30/12 ・・流体環境
G01Q 30/14 ・・・液環境
G01Q 30/16 ・・真空環境
G01Q 30/18 ・外部の環境条件または影響から保護するかまたはサンプル室の内部を分離するための手段、例えば振動または電磁界
G01Q 30/20 ・装置または方法を扱っているサンプル
G01Q 40/00 較正、例えば調査の
G01Q 40/02 ・較正標準およびそれの製作の方法
G01Q 60/00 SPM [スキャンすることは、顕微鏡検査を徹底調査する]または顕微鏡の特定のタイプ;それの必須の部品
G01Q 60/02 ・多数のタイプSPM、すなわち複数SPM技術を含むこと
G01Q 60/04 ・・STM [トンネル効果顕微鏡検査を走査して]は、AFMと組み合わさった[原子力Microscopy]
G01Q 60/06 ・・SNOM [近距離音場光学顕微鏡検査を走査して]は、AFMと組み合わさった[原子力Microscopy]
G01Q 60/08 ・・MFM [磁力顕微鏡検査]は、AFMと組み合わさった[原子力顕微鏡検査
G01Q 60/10 ・STM [トンネル効果顕微鏡検査を走査して]または装置したがって、例えばSTM調査
G01Q 60/12 ・・STS [トンネル効果分光学を走査して]
G01Q 60/14 ・・STP [トンネル効果電位差測定法を走査して]
G01Q 60/16 ・・調査、それらの製造またはそれらの関連した計装、例えば保有者
G01Q 60/18 ・SNOM [近距離音場光学顕微鏡検査を走査して]または装置したがって、例えばSNOM調査
G01Q 60/20 ・・蛍光
G01Q 60/22 ・・調査、それらの製造またはそれらの関連した計装、例えば保有者
G01Q 60/24 ・AFM [原子力顕微鏡検査]または装置したがって、例えばAFM調査
G01Q 60/26 ・・摩擦推力顕微鏡検査
G01Q 60/28 ・・粘着力力顕微鏡検査
G01Q 60/30 ・・潜在的顕微鏡検査を走査すること
G01Q 60/32 ・・ACモード
G01Q 60/34 ・・・ねじ立てモード
G01Q 60/36 ・・DCモード
G01Q 60/363 ・・・{接触モードAFM}
G01Q 60/366 ・・・{ナノ押込み加工、すなわちそこにおいて、力をくぼませることは、測定される}
G01Q 60/38 ・・調査、それらの製造またはそれらの関連した計装、例えば保有者
G01Q 60/40 ・・・伝導探測機
G01Q 60/42 ・・・機能化
G01Q 60/44 ・SICM [イオン-コンダクタンス顕微鏡検査を走査して]または装置したがって、例えばSICM調査
G01Q 60/46 ・SCM [静電容量顕微鏡検査を走査して]または装置したがって、例えばSCM調査
G01Q 60/48 ・・調査、それらの製造またはそれらの関連した計装、例えば保有者
G01Q 60/50 ・MFM [磁力顕微鏡検査]または装置したがって、例えばMFM調査
G01Q 60/52 ・・反響
G01Q 60/54 ・・調査、それらの製造またはそれらの関連した計装、例えば保有者
G01Q 60/56 ・・・磁気コーティングを有する調査
G01Q 60/58 ・SThM [熱顕微鏡検査を走査して]または装置したがって、例えばSThM調査
G01Q 60/60 ・SECM [電気化学的顕微鏡検査を走査して]または装置したがって、例えばSECM調査
G01Q 70/00 SPM調査の一般の態様、それらの製造またはそれらの関連した計装、それらが特別に単一のSPMに適しない限り、テクニックはグループによって、カバーしたG01Q 60/00
G01Q 70/02 ・プローブホルダ
G01Q 70/04 ・・温度または振動誘導されたエラーの補償を有する
G01Q 70/06 ・プローブ先端部配列
G01Q 70/08 ・調査特徴
G01Q 70/10 ・・形状または先細り
G01Q 70/12 ・・・ナノチューブについての情報
G01Q 70/14 ・・特定の材料
G01Q 70/16 ・調査製造
G01Q 70/18 ・・機能化
G01Q 80/00 アプリケーション、SPM以外の、走査式探測機技術の(製造またはナノ構造の処置B82B 3/00;近距離音場相互作用を利用している情報を記録するかまたは再生することG11B 9/12, G11B 11/24, G11B 13/08)
G01Q 90/00 走査式探測機技術または他に分類されない装置
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